Edwards 的堅固耐用型真空泵系列提供卓越的極限性能，同時擁有良好的抽取速度。RV不僅運轉(zhuǎn)安靜，而且有優(yōu)異的蒸汽處理能力。

 

高蒸汽處理能力：更快的制程

出色的微粒處理能力：高可靠性

 

快動式可靠入口閥可實現(xiàn)防反吸保護：安全制程和系統(tǒng)

 

模式選擇器和雙位氣鎮(zhèn)：經(jīng)過專門配置以滿足您的真空需求

 

針對便于維護而設(shè)計：無計劃外停機

 

運轉(zhuǎn)安靜：工作環(huán)境更好

適合“濕式”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點：

 

任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高蒸汽泵送能力

 

獨特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤滑

 

任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高氣鎮(zhèn)流量提供 220g/hr（在 RV12 上為 290g/hr）的水蒸汽處理能力

 

配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)

 

對于溶劑/蒸汽與氟橡膠 (FKM) 密封不兼容的應(yīng)用，提供腈 (Buna-N) 轉(zhuǎn)換套件。另外，泵送大量氧化劑時，可以訂購備有 PFPE 的泵。

適合“多塵”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點

 

一流的防反吸保護可避免灰塵回流到制程中

 

通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動

 

在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉

 

大直徑油路 (3-5mm) 可避免堵塞

 

一些競爭對手的泵的油路直徑不足 1mm

Edwards 的 RV 泵系列利用半導(dǎo)體行業(yè)的 PVD 和 CVD 應(yīng)用經(jīng)驗而設(shè)計，適用于多塵應(yīng)用。

 

適合清潔/干燥應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點

 

獨特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤滑

 

配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)

 

一流的防反吸保護可避免油霧回流到制程中

 

通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動

 

在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉

獲得專利的模式選擇器意味著該泵在高真空應(yīng)用和高吞吐量應(yīng)用中都適用。對于后一種應(yīng)用，可以安裝一個可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續(xù)運轉(zhuǎn)而不會將所有油排到排氣管中。

適合泵送氧化劑的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點：

 

任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高氣鎮(zhèn)流量

 

允許稀釋泵送的氣體以便大限度地減少油的氧化

 

提供 PFPE 選配型

 

適合泵送氧氣和鹵代化合物

RV 泵的高氣鎮(zhèn)允許更高的氧氣流量，同時保持稀釋到爆炸下限以下。在與可選的油回收套件配合使用時可防止氣鎮(zhèn)將所有油吹入到廢氣，與備有 PFPE 的泵配合使用時可避免油被氧化，RV 泵是適合泵送氧氣的可靠泵。同樣，這些特性使得 RV 泵適用于泵送其他氧化劑，如鹵素和鹵代化合物。對于這些化合物，著火/爆炸不是問題，但氣鎮(zhèn)仍可用于稀釋以保護油和軸承。應(yīng)使用 PFPE 以延長油的壽命。